日本开发出用碳纳米管做芯片电路新技术
近日日本富士通研究所宣布,他们成功开发出碳纳米管用于半导体芯片电路的新技术。利用这项新技术一可降低电流阻抗,二可防止电路断线,极大地提高了芯片的性能。 这项新技术是在半导体管元件的微小电极上用原料气体直接生成碳纳米管导线。研究人员事先把作为催化剂的镍、钴混在电极中,一边对其加大电压,一边使其与甲烷和氢的混合气体发生反应,结果在微小的电极上生成了直径50纳米、长500纳米的线路。研究人员用同样的方法,在贯通芯片的直径2微米的纵向孔穴中生成了多根类似的碳纳米管。过去科学家曾在硅柱上生成过碳纳米管,而在电极上生成碳纳米管还是首次。 研究人员认为,这一技术为高性能芯片问世开辟了新途径,预计在5年至10年内此技术将达到实用化水平。
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